Ultrazvučno premazivanje raspršivanjem: Preferirana metoda premazivanja za industriju poluvodiča

RPS-sonic proizvodi ultrazvučnu opremu za premazivanje namijenjenu pružanju inovativnih tehnologija i rješenja za raspršivanje proizvoda za kupce u industriji poluvodiča. Pruža napredna rješenja za ultrazvučno raspršivanje domaćim proizvođačima poluvodičke opreme, proizvođačima elektroničke opreme i istraživačkim institucijama.

Ultrazvučno raspršivanje fotorezista temeljna je tehnologija za precizno premazivanje fotorezista u proizvodnji poluvodiča i mikroelektronike. Njegove glavne prednosti su ravnomjeran premaz, tanki film i ušteda materijala.

 

Temeljni princip: tekući fotootporni materijal razbija se u kapljice veličine od nano- do mikron-veličine pomoću ultrazvučne vibracije. Te se kapljice zatim precizno isporučuju na površinu podloge (kao što su silikonske pločice ili staklo) putem protoka zraka, tvoreći jednoličan tanki film. Veličinom kapljice upravljaju i frekvencija vibracija i viskoznost fotorezista; što je veća frekvencija, to su kapljice sitnije.

 

Ključne vrijednosti primjene: Visoka preciznost premaza: Izvrsna ujednačenost kapljica; odstupanje debljine filma može se kontrolirati unutar ±5%, prilagođavajući se zahtjevima preciznosti mikro- i nano-proizvodnje.

 

Visoka iskoristivost materijala: U usporedbi s tradicionalnim centrifugalnim premazom (sa stopom rasipanja materijala većom od 50%), raspršivanje raspršivanjem zahtijeva samo malu količinu fotootpornog sloja za postizanje ciljane debljine filma, čime se štede troškovi.

 

Prikladno za složene podloge: Može se koristiti za premazivanje ne-planarnih, velikih-površina ili podloga nepravilnog oblika, izbjegavajući probleme s-debljinom rubova i središnjom-tankoćom uzrokovane centrifugalnom silom pri nanošenju centrifugalnim premazom.

 

Smanjuje nedostatke: kapljice su oslobođene visokog-tlaka, smanjujući nedostatke kao što su mjehurići i rupice u fotootpornom filmu, poboljšavajući razlučivost i dosljednost uzoraka fotolitografije.

 

Tipične primjene:

Proizvodnja poluvodičkih čipova: Koristi se za fino premazivanje fotorezista na površinama ploča, podržavajući osnovne procese kao što su fotolitografija i jetkanje.

 

Proizvodnja panela zaslona: prilagođena za fotootporni premaz na podlogama OLED-a, Micro LED-a i drugih uređaja, osiguravajući ujednačenost piksela.

Mikro-elektro-mehanički sustavi (MEMS): Pruža precizne fotootporne filmove za izradu mikrostrukture uređaja kao što su mikro-senzori i aktuatori.

 

Odabir odgovarajuće ultrazvučne opreme za raspršivanje fotorezista zahtijeva sveobuhvatno razmatranje više čimbenika, uključujući preciznost raspršivanja, karakteristike tekućine, vrstu opreme i vrstu mlaznice. Evo ključnih točaka odabira:

 

Zahtjevi za preciznost prskanja: Za pripremu tankih filmova u nanorazmjeru, kao što je prskanje fotorezista na poluvodičke ploče, prikladne su mlaznice za raspršivanje od 100-12kHz. Oni omogućuju preciznu kontrolu iznimno niskih brzina protoka i ultra-finih atomiziranih čestica. Za pripremu samo jednoličnih premaza na mikronskoj razini, mlaznice za raspršivanje od 40-60 kHz su učinkovitije, uravnotežuju brzinu protoka i učinkovitost prskanja uz održavanje određene razine preciznosti.

Karakteristike tekućine: Viskoznost fotorezista je ključna stvar. Za nisku-viskoznost (<30cP) photoresists, 100-120kHz is appropriate; while for medium-to-high viscosity (30-50cP) photoresists, 40-60kHz is more suitable. Furthermore, the volatility and corrosiveness of the photoresist must be considered. If the photoresist is corrosive, an external atomization nozzle should be selected.

 

Vrsta opreme: Za malo{0}}serijsku proizvodnju ili malu{1}}površinsku proizvodnju tankog{2}}sloja u laboratoriju, prikladan je mali-za-upravljanje lakim laboratorijskim-sustavom za premazivanje prskanjem, kao što je RPS-SONIC-P400. Za velike{10}}proizvodne linije potreban je podni/proizvodni-sustav premazivanja prskanjem, kao što je RPS-SONIC-P 490. Ovaj sustav može biti opremljen s više sustava mlaznica za postizanje -raspršivanja velike površine, ovisno o potrebnoj površini.

 

Vrsta mlaznice: Ako je supstrat ne-planarni poluvodič s površinskom mikrostrukturom, može se odabrati raspršujuća ultrazvučna mlaznica. Može prskati okomite ili zakrivljene površine pod kutovima. Za -raspršivanje fotootpornog materijala na velikom-površinu, kao što je raspršivanje tankog-sloja solarnih ćelija, prikladnija je široka{5}}ultrazvučna mlaznica za raspršivanje. Njegov poseban dizajn kanala protoka raspršuje i preusmjerava plin nosač, uzrokujući raspršivanje ultrazvučno raspršene tekuće magle u obliku lepeze, čime se širi širina raspršivanja.

 

Ultrazvučna frekvencija: Frekvencija ima presudan utjecaj na veličinu atomiziranih čestica i kvalitetu premaza. Visoke frekvencije (kao što je iznad 100 kHz) mogu proizvesti manje, ujednačenije kapljice, što ih čini prikladnima za pripremu tankih, ujednačenih premaza s visokom glatkoćom površine, jakim prianjanjem i dobrom gustoćom. Ovo je primjenjivo na područja s iznimno visokim zahtjevima za preciznošću, kao što je mikroelektronika. Ako zahtjevi za jednoličnost premaza nisu posebno strogi i potreban je veliki volumen premaza, može se odabrati uređaj niže frekvencije.